2026年11月02日
第A11版:新材料

我国企业成功研发高端铬蚀刻液相关技术

  下图:中德电子全自动化生产车间

  江阴高新区供图

  上图:中德电子研究人员正在对相关产品进行检测。

  本报讯   经过多批量反复测试,江苏中德电子材料科技有限公司(以下简称“中德电子”)研发的铬蚀刻液近日取得突破。该产品的首创技术实现蚀刻液“自净化”,可广泛应用于12英寸晶圆制造、先进封装光掩模制备、高端OLED(有机发光二极管)显示面板及MEMS(微机电系统)器件等领域,填补了国内高端铬蚀刻液技术空白,实现了进口替代。此外,该企业研发的高性能钛腐蚀液产品,一举攻克了传统高浓度氢氟酸侧蚀严重、需加热、安全隐患大等技术痛点,打破了国外企业的垄断,解决了“卡脖子”难题,目前该产品已通过多家客户验证,市场导入稳步推进。

  作为江阴润玛电子材料股份有限公司布局新一代微电子领域湿电子化学品的先进制造平台,中德电子自成立以来便专注于湿电子化学材料的研发与生产,致力于推动高端电子化学材料的进口替代。其主导产品蚀刻液被广泛应用于集成电路晶圆制造,2.5D、3D先进封装、平板显示等微电子、光电子产业。

  同时,中德电子可实现G4、G5等级高纯度半导体湿电子化学品制备,并能依据客户工艺需求完成产品复配。截至目前,该公司已形成多项自主发明专利,推动多款高端湿电子化学品实现国产化落地,为国内半导体与显示产业提供了关键材料保障。

  中德电子相关负责人介绍说,当前,全球半导体行业正进入一个由AI(人工智能)驱动、持续时间更长、资本开支强度更高的新周期,发展前景广阔。

  “中德电子多年的技术积累使其具备面向不同客户精准定制开发多型号、多品类蚀刻液产品的能力。在高端湿电子化学品加速国产替代、本土封测产能持续扩张的双重窗口期,这种深度定制能力将让企业在接下来的市场竞争中占据有利位置。”该负责人说。

  据了解,中德电子的快速发展离不开江阴高新区的大力支持。下一步,该高新区将持续强化科创赋能与产业生态配套,引导企业深耕工艺改进、开拓定制化产品新市场、布局高附加值新赛道,推动先进制造产业集群提质升级。吴晨

2026-11-02 6 6 中国高新技术产业导报 content_176623.html 1 <p>我国企业成功研发高端铬蚀刻液相关技术</p> /enpproperty-->