▶  刘晓 冯骁珩

　　突破关键核心技术，淄博高新区“智造”再添新成果。近期，坐落于淄博高新区齐鲁智能微系统创新产业基地的宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司（以下简称“宇鸿敏芯”）自主研发的溅射金属基高精纳米膜芯体实现量产，填补了国内高端传感器领域的空白。这家成立时间仅一年的企业是如何攻克技术难关使国产传感器逆势突围的？

　　突破植根于技术研发

　　在宇鸿敏芯的实验室，企业总工程师崔雪岩向来访者展示了打破国外技术垄断的“秘密武器”——溅射金属基高精纳米膜芯体。这枚直径不足1厘米的精密器件，正在重塑国内高端传感器的产业格局。

　　宇鸿敏芯自主研发的溅射金属基高精纳米膜芯体，采用国际领先的MEMS（微机电系统）加工工艺，将纳米薄膜应变电阻直接集成于金属弹性体表面，实现敏感元件与弹性体的原子级结合。这项技术使国产传感器首次作为自创产品在石油勘探、航空航天等高端领域达到国际标准。

　　“我们公司自主研发的溅射薄膜压力传感器芯体，不仅实现了国内‘零’的突破，而且它的技术参数在国际同类企业产品中是遥遥领先，比如它的最高测量量程达到了380兆帕，而传统压力传感器的测量量程是60兆帕；它的年漂移精度仅为千分之一，而其它压力传感器的年漂移精度为千分之三或者千分之五。”崔雪岩介绍说。该产品的测试数据显示：-50℃极寒到300℃炙烤，精度波动小于0.1%；承受3800倍大气压冲击后，信号输出依然稳定。正是这些指标，让国产传感器顺利进入卫星推进器供应商名录。

　　宇鸿敏芯是如何在这么短时间内攻克技术难关，使产品达到高标准技术指标的呢？宇鸿敏芯研发部主任罗静怡揭秘了快速突围的密码。“企业核心竞争力的锻造，植根于对科技研发方面的不断投入。在设备方面，我们成功参与研发、改进了全自动步进式紫外光刻机、全自动喷胶机等仪器，并与高校共建联合实验室，强化技术转化能力。在人才团队建设上，我们目前拥有的研发团队中硕士占比达50%，并聘请了多位半导体领域的国家级技术专家担任技术顾问，通过产学研合作持续突破技术瓶颈，加强自身在溅射薄膜工艺领域的竞争力。”

　　依托园区发展壮大

　　选择入驻“中国MEMS传感器十大园区”之一的齐鲁智能微系统创新产业基地，宇鸿敏芯看中的正是园区“一公里生态圈”的聚变效应。在这里，从特种合金材料到微米加工，从封装测试到智能校准，数十家上下游企业环环相扣，让宇鸿敏芯有了更大的发展空间。

　　“园区具有较为完善的MEMS产业链、仪器仪表产业链的上下游配置。园区内的精密机加配套让我们产品在结构改良升级方面可以快速反应；与MEMS研究院、山东理工大学等合作，提高了产品的技术更新迭代速度；相对完善的供应链配套让生产研发的成本更低、速度更快，让产品更具有市场竞争力。”宇鸿敏芯生产部经理许凯说。

　　据了解，目前，宇鸿敏芯已拥有千、百级净化车间与多条生产线，具备30万枚芯（片）体、10万支压力传感器年产能力。研发及工艺设备近200台套，具备较完备的设计研发力学传感器技术平台，助力技术创新与产品升级。同时，宇鸿敏芯已拥有自主知识产权20余项，为企业的持续发展提供了强大的技术支撑和竞争优势。

　　“我们将逐步实现技术研发成果转化，实现年产100万支芯体、30万支传感器的产能规划目标，并在汽车电子、医疗电子、通信电子领域进行拓展布局。”崔雪岩表示，企业将依托国内国际双循环战略部署，进一步推动“中国技术+中国标准”深度参与全球竞争，通过主导国际标准制定，建设海外联合创新中心，让“中国创造”从价值链参与者蜕变为规则制定者。