▶ 高欣

　　“比指甲盖还小，却能精准感知空间中三个方向的力和三个方向的力矩。”今年 8 月，淄博高新区企业山东港智创信电子科技有限公司（以下简称“港智创信”）在“齐鲁制造会客厅”机器人专场活动上，展示了其在高精度力觉感知领域的创新成果。

　　“我们正在研发的芯片级硅基 MEMS（微机电系统）六维力传感器，内部芯片尺寸只有8毫米×8毫米，厚度0.8毫米。”活动现场，港智创信董事长孙启萌介绍说。

　　与传统的六维力传感器相比，芯片级硅基MEMS六维力传感器在体积上实现了大幅缩减——当“六维力觉”被装进一枚指甲盖大小的芯片，细微力控场景从此就有了新的可能。

　　什么是六维力传感器？高精度力觉传感器是机器人的“力觉神经”。它能够实现对机器人末端多方向力和力矩的精准感知，为机器人焊接、打磨、装配及人机协作等精细化作业提供关键支撑。而六维力传感器是其中的“满配”——它能够同时测量空间中3个方向的力和3个方向的力矩，是协作机器人、工业机器人和人形机器人开展精细作业的重要部件。

　　六维，难在哪里？孙启萌介绍说：“6个方向的数据容易相互干扰，传感器结构设计、联合标定和解耦算法一直是行业技术门槛。”

　　“过去，国外产品价格可达每套6万-7万元，国内同类产品价格也在2万-3万元，较高成本限制了其大规模应用。”孙启萌说。

　　瞄准这些痛点，港智创信自主研发六轴联合加载标定技术及多项式高精度解耦算法，降低维间耦合误差、提升测量精度——把容易“互相干扰”的六路数据一条条“捋顺”。

　　过去，传统六维力传感器受限于体积和成本，主要应用在工业机器人等大型设备上。如今，港智创信把传感器做到了“芯片级”，其应用场景随之从大型工业延伸向人形机器人、灵巧手等精密领域，为新兴场景应用提供了新的技术探索方向。

　　“这款芯片级的硅基 MEMS 六维力传感器实现量产后，制造成本将大幅下降，应用面会更广。”孙启萌说。眼下，这款硅基MEMS六维力传感器尚处于样品阶段，公司正加快推进量产。

　　孙启萌还透露，公司正同步推进机器人关节扭矩传感器的工艺技术研发。

　　如果说六维力传感器是机器人的“力觉神经”，那么关节扭矩传感器就好比机器人的“关节神经”——它实时感知机器人关节力矩变化，为机器人运动控制和力控系统提供精准反馈。这是港智创信面向人形机器人、协作机器人及智能装备领域重点研发的核心产品。该产品采用自主研发的高精度测量技术和先进算法，具备测量精度高、响应速度快、结构紧凑等特点，可广泛应用于机器人关节模组、外骨骼设备、智能制造装备等领域。