1988年5月10日国务院批复《北京市新技术产业开发试验区暂行条例》，位于北京中关村的北京市新技术产业开发试验区诞生，这是由国务院批准成立的我国第一家国家高新技术产业开发区。

　　1991年

　　国家高新区总数达27个

　　1991年3月6日国务院批准武汉、南京、沈阳、天津、西安、成都、威海、中山、长春、哈尔滨、长沙、福州、广州、合肥、重庆、杭州、桂林、郑州、兰州、石家庄、济南、上海、大连、深圳、厦门、海口等26个高新区为国家高新。国家高新区总数增至27个。

　　1992年

　　国家高新区总数达52个

　　1992年11月9日国务院批准在苏州、无锡、常州、佛山、惠州、珠海、青岛、潍坊、淄博、昆明、贵阳、南昌、太原、南宁、乌鲁木齐、包头、襄樊、株洲、洛阳、大庆、宝鸡、吉林、绵阳、保定、鞍山等25个城市建立国家高新技术产业开发区。国家高新区总数增至52个。

　　1997年

　　国家高新区总数达53个

　　1997年7月29日经国务院批准，杨凌农业高新技术产业示范区宣布成立，并纳入国家高新区管理系列。国家高新区总数增至53个。

　　2006年

　　国家高新区总数达54个

　　1994年2月经国务院批准设立苏州工业园区。2006年苏州工业园区被纳入国家高新区管理序列。国家高新区总数增至54个。

　　2007年

　　国家高新区总数达55个

　　2007年1月8日国务院批准宁波高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至55个。

　　2009年

　　国家高新区达57家

　　2009年3月18日国务院批准湘潭、泰州高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至57个。

　　2010年

　　国家高新区总数达84个

　　2010年9月27日国务院批准芜湖、东莞、肇庆、昆山、柳州、济宁、烟台、营口、安阳、南阳、渭南、白银、昌吉等13家省级高新区升级为国家高新区。

　　2010年11月29日国务院批准唐山、燕郊、辽阳、延吉、齐齐哈尔、绍兴、蚌埠、泉州、新余、景德镇、宜昌、江门、青海、银川等14家省级高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至84个。

　　2011年

　　国家高新区总数达89个

　　2011年6月18日国务院批准上海紫竹、江阴、临沂、益阳、自贡等5家省级高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至89个。

　　2012年

　　国家高新区总数达106个

　　2012年8月19日国务院批准承德、本溪、长春净月、徐州、武进、温州、马鞍山慈湖、莆田、鹰潭、泰安、新乡、孝感、衡阳、乐山、玉溪、榆林、咸阳等17家省级高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至106个。

　　2013年

　　国家高新区总数达115个

　　2013年12月国务院批准通化医药、阜新、石嘴山、呼和浩特金山、南通、衢州、荆门、漳州、石河子等9家省级高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至115个。

　　2014年

　　国家高新区总数达116个

　　2014年10月，镇江高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至116个。

　　2015年

　　国家高新区总数达147个

　　2015年2月5日国务院批准长治、锦州、连云港、盐城、萧山临江、三明、龙岩、抚州、枣庄、平顶山、郴州、源城、北海、泸州等14家省级高新区升级为国家高新区。

　　2015年9月国务院批准清远、嘉兴秀洲、常熟、吉安、赣州、德阳、莱芜、安康、扬州、仙桃、湖州莫干山、璧山、随州、德州、焦作、攀枝花钒钛等16家省级高新区升级为国家高新区。

　　2015年10月19日国务院批准设立“黄河三角洲农业高新技术产业示范区”。国家高新区总数增至147个。

　　2017年

　　国家高新区总数达157个

　　2017年2月13日国务院批准鄂尔多斯、宿迁、淮安、铜陵狮子山、咸宁、黄冈、常德、汕头、内江、安顺等10家省级高新区升级为国家高新区。国家高新区总数增至157个。

　　2018年

　　国家高新区总数达169个

　　2018年3月6日国务院批准荆州、黄石大冶湖、潜江、九江共青城、宜春丰城、湛江、茂名、楚雄、淮南、荣昌、永川、怀化等12家省级高新区升级为国家高新区。至此，国家高新区总数已达169家。