本报讯  近日，比利时微电子研究中心（IMEC）推出全世界最小的基于鳍式场效应晶体管（FinFET）的生物传感器（BioFET）。该传感器尺寸仅为13纳米鳍宽和50纳米栅极长，已成功在300毫米洁净室实现生产。目前该传感器可检测的极限为几十个DNA分子，其最终目标是实现单个DNA分子的高精度检测。

　　该技术的基本原理为当生物分子与化学修饰的栅极电介质表面结合时，其阈值电压会发生变化，从而产生可测量的信号。IMEC通过先进的FinFET成功提高了生物传感器灵敏度。基于实验和模拟，IMEC预测70纳米以下的FinFET可实现信噪比（SNR）大于5的单分子检测。